ТРО Пьер-Ив (FR)

Способ фотолитографии при помощи излучения в далекой ультрафиолетовой области спектра предназначен для нанесения рисунка на объект (OBJ) и содержит плоскую поверхность, расположенную перпендикулярно излучению и содержащую светочувствительную зону (PR). Объект может перемещаться поперечно относительно этого излучения. Излучение, предназначенное для фотолитографии, содержит, по меньшей мере, одну...

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для измерения радиуса пучка излучения. Предложенный способ включает в себя этапы, на которых источник (2) пучка (20) излучения возбуждает (S1) нагреванием эталон (1) периодическим образом с частотой (f) для получения периодического теплового возбуждения эталона (1). Датчик (3) измеряет (S2) периодическую тепловую...