ОКА Масакацу (JP)

Изобретение может быть использовано для получения фторида марганца, применяемого в производстве газообразного фтора. Способ получения фторида марганца включает стадию (1) взаимодействия соединения марганца с фторирующим агентом при температуре от 50 до 250°С и стадию (2) дальнейшего взаимодействия полученного на стадии (1) продукта с фторирующим агентом при температуре от 250 до 450°С. Соединени...

Изобретение относится к области получения газообразного фтора, который может быть использован в процессах производства полупроводников или жидких кристаллов. Способ получения газообразного фтора включает стадию генерирования газообразного фтора путем разделения на секции внутреннего пространства оборудованного нагревающими средствами (9) контейнера (10) для генерирования газообразного фтора, запо...