Гребнев Олег Игоревич (RU)
Изобретатель Гребнев Олег Игоревич (RU) является автором следующих патентов:
Устройство для нанесения нанокластерного покрытия
Изобретение относится к микро- и нанотехнологии. Магнетрон, оснащенный полым трубчатым катодом-мишенью (1), присоединен с помощью электромагнитного направляющего устройства (ЭНУ) к рабочей камере (2), в которой смонтирован держатель (3) обрабатываемого изделия. Магнетрон оборудован дополнительным охлаждаемым катодом-мишенью (5), плоскость распыления которого перпендикулярна боковой поверхности т...
2362838