PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Тестов Олег Анатольевич (RU)

Изобретатель Тестов Олег Анатольевич (RU) является автором следующих патентов:

Устройство для нанесения нанокластерного покрытия

Устройство для нанесения нанокластерного покрытия

Изобретение относится к микро- и нанотехнологии. Магнетрон, оснащенный полым трубчатым катодом-мишенью (1), присоединен с помощью электромагнитного направляющего устройства (ЭНУ) к рабочей камере (2), в которой смонтирован держатель (3) обрабатываемого изделия. Магнетрон оборудован дополнительным охлаждаемым катодом-мишенью (5), плоскость распыления которого перпендикулярна боковой поверхности т...

2362838