Рахимова Татьяна Викторовна (RU)

Изобретение относится к измерениям радикалов при исследовании фотохимических и плазмохимических процессов в лазерных системах, а также при использовании плазмохимических реакторов в технологии изготовления полупроводниковых приборов в микро- и наноэлектронике. Способ заключается в том, что на поток газа на выходе разрядного промежутка, генерирующего распадающуюся плазму с химически активными час...

Изобретение относится к области лазерной техники и может быть использовано, например, в физике низкотемпературной плазмы и биологии. Генератор синглетного кислорода на основе высокочастотного разряда в потоке газа для йодного лазера содержит разрядную трубку, источник высокочастотной энергии, подключенный к изолированным друг от друга аноду и катоду, расположенным вокруг разрядной трубки и образ...