ХЬЮТ Марк К. (US)

Изобретение относится к способу формирования элемента на подложке путем удаления материала на поверхности подложки лазерным лучом (варианты) и устройству для его осуществления. Устройство содержит источник лазерного луча, способный формировать элемент на поверхности подложки, первую конструкцию для подачи жидкости и направления жидкости на элемент, который может содержать затененную область, дос...