Индукаев Константин Васильевич (RU)

Изобретение относится к областям техники, связанным с прецизионными координатными измерениями геометрии и локальных свойств материала нано- и микроструктур, протяженных в горизонтальном направлении, в частности интегральных микросхем, микроэлектромеханических систем и наномеханизмов. Изобретение направлено на расширение функциональных возможностей, увеличение достоверности измерений, повышение м...

Изобретение относится к устройствам для позиционирования. Устройство включает направляющую, установленный на ней первый элемент с приводом его линейного перемещения, второй элемент, установленный на второй направляющей, ортогональной первой. Элементы имеют возможность взаимного перемещения вдоль оси, расположенной под острым углом к оси одной из направляющих и лежащей в плоскости ортогональной ос...

Изобретение относится к области точной механики, а именно к устройствам прецизионного перемещения, использующим смазку сжатым газом с компенсацией аэростатических сил за счет магнитного притяжения. Бесконтактное аэромагнитное линейное направляющее устройство содержит угловую направляющую 1 и каретку 2, которые размещены с зазорами 3 и 4 относительно друг друга. В каретке выполнены дроссели 5 и 6...

Изобретение относится к области интерференционной оптики и может быть использовано, например, в микроскопах. Согласно способу определения фазы объектного пучка на пикселе фотоприемника определяют не менее трех значений энергии, воспринятой пикселем фотоприемника за время экспозиции, при различных значениях фазы опорного пучка. Для определения не менее одного значения воспринятой пикселем энергии...

Способ может быть использован для прецизионного контроля изделий в машиностроении и приборостроении. Способ реализуется интерференционным методом. На исследуемой поверхности выбирают несколько участков, фазовое изображение каждого из которых может быть получено на фотоприемнике микроскопа. Определяют фазовое изображение каждого участка, для чего при различных значениях фазы опорного пучка опреде...

Изобретение может быть использовано для получения изображения микрорельефа объекта, имеющего большую площадь поверхности. Устройство включает платформу, на которой расположен объект и которая способна перемещаться на двух основных и одной дополнительной аэростатических опорах вдоль первой горизонтальной оси, и портал, на котором установлен фазовый микроскоп и который способен перемещаться на дву...

Изображающий микроэллипсометр состоит из источника когерентного освещения 1, пространственного фильтра 2, управляемой полуволновой пластинки 3, коллиматора 4, неполяризующего светоделителя 5, по крайней мере, одной ловушки-поглотителя 6, микрообъектива 7 с фронтальной линзой 8, расположенного под микрообъективом предметного столика 9 с размещенным на нем объектом 10, интерференционного блока 11...

Изобретение относится к области приборостроения и может быть применено для точной ориентации объекта в целях наблюдения или обработки, например, в микроскопах. Устройство для позиционирования объекта содержит средство угловой ориентации, состоящее из подвижной и неподвижной частей, и средство вертикальной подачи, связанное с подвижной частью средства угловой ориентации. Средство угловой ориентац...