Осипов Андрей Михайлович (RU)

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при производстве тонкопленочных гибридных и монолитных интегральных схем при изготовлении тонкопленочных конденсаторов. Техническим результатом изобретения является повышение выхода годных конденсаторов за счет снижения влияния дефектов диэлектрической пленки. Согласно изобретению пленочный конденсатор содержит первую и вторую...