ПЕПКЕН Тим (DE)

Изобретение может быть использовано в химической и электронной промышленности. Кремний высокой чистоты получают термическим разложением силансодержащей смеси в газовой фазе с осаждением компактного слоя кремния. Используемая газовая смесь содержит моносилан, монохлоросилан и, если желательно, другие силаны. Предложенное изобретение позволяет получить высокочистый кремний при снижении образования...

Изобретение может быть использовано для получения силанов общей формулы HnSiCl4-n, где n=1, 2, 3 и/или 4 посредством дисмутации по меньшей мере одного относительно высокохлорированного силана в присутствии катализатора. Устройство состоит из, по меньшей мере, одной дистилляционной колонны 1, снабженной одной тарелкой 4 с патрубком, и одного бокового реактора 2 со слоем 3 катализатора, соединенным...