Лунёв Олег Святославович (RU)

Способ контроля рельефа поверхности включает размещение контролируемого изделия на предметном столе, направление на поверхность изделия светового излучения под заданным углом освещения, прием отраженного от поверхности изделия светового излучения, регистрацию и измерение характеристик отраженного от поверхности излучения. Поверхность изделия освещают наклонно падающим пучком светового излучения...