МАБОГ Клод (BE)

Изобретение относится к способу травления магнетронным распылением в вакуумной камере (2) металлической полосы (4), движущейся на опорном валке (3) напротив противоэлектрода (5). В газе вблизи металлической полосы (4) создают плазму, с тем чтобы образовывались радикалы и/или ионы, действующие на эту полосу (4), и выбирают, по меньшей мере, одну замкнутую магнитную цепь (7), ширина которой, по су...

Изобретение относится к травлению в вакууме при помощи магнетронного распыления. Способ заключается в распылении металлической полосы (2), движущейся над, по меньшей мере, одним противоэлектродом (3,3′,7) из проводящего материала в вакуумной камере (1), в которой создают плазму в газе вблизи металлической полосы (2) таким образом, чтобы образовывались радикалы и/или ионы, действующие на эту мета...