Иванов Валерий Анатольевич

 Изобретение относится к вакуумному нанесению слоев и может быть использовано для термического нанесения полимерных пленок из газовой фазы. Устройство для нанесения полимерных пленок содержит размещенные в вакуумной камере подложку и испаритель, снабженный нагревателем, и состоящий из двух камер, расположенных коаксиально и соосно испарителю, в одну из камер загружается испаряемое вещество...

 Изобретение относится к области порошковой металлургии, в частности, к устройствам для получения ультрадисперсных металлических порошков конденсацией из паровой фазы. Испарительная емкость, в которой осуществляют нагрев и испарение металла, конструктивно объединена с емкостью источника плазмы, в которой осуществляют перегрев паров металла перед выпуском их в объем вакуумной камеры. При эт...