ГАЙГЕР Вольфрам (DE)

Изобретение относится к микромеханическому, микроэлектромеханическому компоненту. Технический результат направлен на изготовления компонента, не требующего сложной производственной технологии, позволяющего надежно заключить в герметическую оболочку соответствующие активные структуры и вывести из компонента электрические контакты. Способ изготовления микромеханического, микроэлектромеханического...

Изобретение относится к микромеханическим, микроэлектромеханическим (МЭМС) и микрооптоэлектромеханическим (МОЭМС) элементам, а также способам их изготовления. Сущность изобретения: в способе изготовления элемента, в частности микромеханического, микроэлектромеханического или микрооптоэлектромеханического элемента, изготавливают первую сборку слоев, включающую первую подложку, на которую нанесен п...

Датчик скорости вращения содержит подложку и две структуры (100, 200, 300, 400, 500, 600), выполненные с возможностью перемещения относительно подложки на рабочей плоскости (х-y). Две подвижные структуры (100, 200, 300, 400, 500, 600) соединены, чтобы формировать связанную структуру, такую, что она имеет первую моду колебаний с отклонениями в противофазе подвижных структур в первом направлении (х...

Изобретение относится к Кориолисову гироскопу, имеющему конструкцию, содержащую подложку (5, 22, 24, 26), по меньшей мере две отдельные структуры (61, 62, 63, 64, 500, 600, 700, 800) и упругие элементы (например, 1, 2, 3, 21, 23, 25), которые связывают отдельные структуры (61, 62, 63, 64, 500, 600, 700, 800) с подложкой (5, 22, 24, 26) и между собой, используя датчики силы (например, 514, 614, 71...

Кориолисов гироскоп (1) включает в себя систему масс, в которой могут возбуждаться колебания параллельно первой оси, при этом может регистрироваться отклонение системы масс вследствие кориолисовой силы вдоль второй оси, которая проходит перпендикулярно первой оси, и по меньшей мере один первый корректировочный модуль (30) и по меньшей мере один второй корректировочный модуль (40), которые соотве...

Изобретение относится к датчику ускорения и способу изготовления такого датчика ускорения. Датчик ускорения содержит подложку с поверхностью подложки и пробную массу, которая выполнена с возможностью перемещения относительно подложки в направлении (x) отклонения, по существу параллельном поверхности подложки первом направлении (x). Пробная масса содержит гребенчатый электрод, выполненный с возможн...

Использование: для изготовления конструктивного элемента. Сущность изобретения заключается в том, что создают композит первого слоя, содержащий первую подложку, выполненную из проводящего материала, и по меньшей мере одну канавку, сформированную в нем и заполненную изолирующим материалом, причем первая область первой подложки электрически изолирована в боковом направлении от других областей первой...

Предложен способ для определения факта выхода гироскопа на установившийся режим работы, позволяющий его использовать для достоверных измерений, и устройство для реализации данного способа. Заявленный способ оптимизации времени включения Кориолисова гироскопа заключается в том, что система масс указанного гироскопа приводится в состояние возбуждающих колебаний параллельно первой оси (х), причем отк...

Использование: для создания микромеханического компонента. Сущность изобретения заключается в том, что способ изготовления микроэлектромеханического компонента включает этап изготовления композита первого слоя, содержащего структурированный слой, который является электропроводящим по меньшей мере на первом участке, и канавку, заполненную изолирующим материалом, которая проходит в наружном направле...