ТИДА Мицуру (JP)

Изобретение относится к головке для выброса жидкости и способу изготовления подложки головки для выброса жидкости. Способ изготовления подложки для головки для выброса жидкости представляет собой обеспечение кремниевой подложки, содержащей на ее поверхности слой маски для травления, который имеет отверстие, формирование первого углубления в поверхности кремниевой подложки путем анизотропного тра...

Изобретение раскрывает способ изготовления головки для выброса жидкости, включающей в себя, у поверхности подложки, узел сопел для выброса, имеющий множество сопел, предназначенных для выброса жидкости, по существу перпендикулярно поверхности подложки. Способ включает подготовку указанной подложки, которая снабжена слоем полимера, который содержит фотоотверждаемый полимер. Выполнение первой обра...