САКАИ Тосиясу (JP)

Изобретение относится к головке для выброса жидкости и способу изготовления подложки головки для выброса жидкости. Способ изготовления подложки для головки для выброса жидкости представляет собой обеспечение кремниевой подложки, содержащей на ее поверхности слой маски для травления, который имеет отверстие, формирование первого углубления в поверхности кремниевой подложки путем анизотропного тра...