АБО Хироюки (JP)

Изобретение относится к головке для выброса жидкости и способу изготовления подложки головки для выброса жидкости. Способ изготовления подложки для головки для выброса жидкости представляет собой обеспечение кремниевой подложки, содержащей на ее поверхности слой маски для травления, который имеет отверстие, формирование первого углубления в поверхности кремниевой подложки путем анизотропного тра...

Способ изготовления кремниевой подложки для выбрасывающей жидкость головки, имеющей первую поверхность, противоположную второй поверхности, содержит этапы: обеспечение слоя на второй поверхности кремниевой подложки, причем этот слой имеет более низкую скорость травления, чем кремний, при воздействии травителя кремния; частичное удаление слоя так, чтобы открыть часть второй поверхности кремниевой...

Изобретение относится к жидкой композиции, способу получения кремниевой подложки и к способу получения подложки для головки для выброса жидкости. Сущность изобретения: жидкая композиция, используемая для проведения анизотропного травления кристалла кремниевой подложки, снабженной маской для травления, формируемой из пленки оксида кремния, включает гидроксид цезия, щелочное органическое соединение...