Бурлаков Рудиарий Борисович (RU)

Изобретение относится к области нанотехнологий, в частности к способу получения наночастиц металла на поверхности подложки. Способ включает предварительное нанесение на поверхность подложки металлического тонкопленочного покрытия и воздействие на полученное покрытие пучком ионов высокой энергии до плавления покрытия и образования на поверхности подложки наночастиц материала покрытия различной фо...

Изобретение относится к технологии нанесения тонких пленок, а именно к испарителям, и может быть использовано для напыления пленок из драгоценных металлов и сплавов. Технический результат - повышение гравитационной стабильности расплава, уменьшение разбрызгивания, увеличение эффективной поверхности смачивания, улучшение диаграммы направленности и уменьшение неконтролируемого угла разлета напыляе...