Могильников Константин Петрович (RU)

Устройство для определения пористых характеристик тонких слоев относится к микроэлектронике, катализу, биохимии. Устройство содержит поляризатор и анализатор быстродействующего лазерного эллипсометра. Также устройство содержит столик для крепления образцов и сопла для подачи парогазовой смеси непосредственно в зону эллипсометрических измерений. Причем указанные детали закреплены на жесткой раме....

Изобретение относится к области измерений температуры тонких поверхностных слоев, в частности пористого диэлектрического слоя в химической промышленности (катализ), при изготовлении оптических и химических сенсоров, а так же в процессе криогенного травления диэлектриков в технологии микроэлектроники. Заявлен бесконтактный способ измерения температуры пористого слоя, характеризующийся тем, что те...