ОСАДА Кодзо (JP)

Изобретение относится к распыляемой мишени для получения тонкой прозрачной проводящей пленки. Распыляемая спеченная мишень на основе оксида галлия-оксида цинка содержит 0,002-0,05 мас.% оксида алюминия и имеет плотность после спекания 5,55 г/см3 или выше. В частных случаях осуществления изобретения распыляемая мишень содержит 0,1-10 мас.% оксида галлия, имеет удельное сопротивление 3,0 мОм·см ил...

Изобретение относится к распыляемым мишеням высокой плотности из спеченного изделия на основе серий оксид галлия-оксид цинка. Мишень содержит 20-2000 млн.д. мас., оксида циркония и имеет объемное сопротивление 3,0 мΩ·см или менее. Способ формирования прозрачной проводящей пленки осуществляют путем распыления указанной мишени. Прозрачная проводящая пленка, сформированная на подложке путем распыле...

Изобретение относится к галлийоксид-цинкоксидной распыляемой мишени для получения прозрачной электропроводной пленки. Высокоплотная галлийоксид-цинкоксидная спеченная распыляемая мишень для формирования прозрачной электропроводной пленки содержит 20 млн-1 по массе или более каждого из оксида циркония и оксида алюминия, при этом общее содержание таковых составляет менее чем 250 млн-1, а величина о...