МИЛЛЕР Ричард Тодд (US)

Изобретение относится к устройству для эжекции текучей среды и к электрической схеме цепи для управления этим устройством. Полупроводниковая структура содержит подложку, имеющую первую поверхность, первый изоляционный материал, расположенный на, по меньшей мере, участке первой поверхности, причем первый изоляционный материал содержит множество отверстий, образующих путь к первой поверхности, пер...