ТАГУТИ Синитиро (JP)

Изобретение относится к способу и аппарату магнетронного распыления и позволяет значительно уменьшить аномальный разряд на поверхности мишени и неразмытые области, вызывающие отложение материала мишени. Несколько мишеней (8А, 8В, 8С, 8D) располагаются в вакууме так, чтобы быть электрически не зависимыми друг от друга, и распыление проводится путем создания магнетронного разряда вблизи мишеней (8...