ТАНИ Нориаки (JP)

Изобретение относится к способу и аппарату магнетронного распыления и позволяет значительно уменьшить аномальный разряд на поверхности мишени и неразмытые области, вызывающие отложение материала мишени. Несколько мишеней (8А, 8В, 8С, 8D) располагаются в вакууме так, чтобы быть электрически не зависимыми друг от друга, и распыление проводится путем создания магнетронного разряда вблизи мишеней (8...

Изобретение относится к технической области плоского устройства отображения, а именно к устройству отображения, использующему неорганический люминесцентный слой. Техническим результатом является управление TFT (тонкопленочными транзисторами) с использованием неорганического ЭЛ элемента, который испускает свет при низком напряжении. Устройство отображения содержит подложку; пиксельный электрод, ра...