PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Еремин Игорь Владимирович (RU)

Изобретатель Еремин Игорь Владимирович (RU) является автором следующих патентов:

Способ изготовления детектора короткопробежных частиц

Способ изготовления детектора короткопробежных частиц

Изобретение относится к полупроводниковой технике. Сущность изобретения: при изготовлении детектора короткопробежных частиц легируют ионной имплантацией в окно поверхностный слой кремния на стороне p-n перехода примесью p-типа, а на омической стороне примесью n-типа дозой 1015-1016 при энергии ионов 500-2000 кэВ, отжигают имплантированные слои при температуре 850-950°С в течение 1-2 часов. Затем...

2378738