Спиваков Дмитрий Давидович (RU)

Изобретение относится к способу и устройству ионно-плазменного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий. Система для создания магнитного поля магнетронного устройства включает два установленных напротив друг друга несбалансированных магнетрона, на внутренней поверхности которых закреплены выполненные из гомогенного материала мишени и каждый из которых имеет ориентированные в противоположны...