ТАНГ Минг-Хау (US)

Модулятор содержит подложку, множество индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов, размещенных на подложке, рассеиватель и оптическую компенсационную структуру, отличающуюся от рассеивателя. Рассеиватель и оптическая компенсационная структура размещены между подложкой и множеством светомодулирующих элементов. Модулятор может содержать множество различных оптических компенсационных стру...

Изобретение относится к устройствам на основе микроэлектромеханических систем (MEMS-устройств). В частности, оно относится к тонкопленочным структурам в устройствах на основе микроэлектромеханических систем и к электромеханическим и оптическим откликам таких тонкопленочных структур. В одном из вариантов настоящим изобретением предлагается способ изготовления устройства на основе микроэлектромеха...

Способ изготовления по меньшей мере двух типов электромеханических устройств, имеющих различные раскрепленные состояния после удаления временного слоя, состоит в следующем. Берут подложку, по меньшей мере на части подложки формируют первый электропроводящий слой. По меньшей мере на части первого электропроводящего слоя формируют первый временный слой. Поверх первого временного слоя формируют эле...