Чернышов Вадим Викторович (RU)

Изобретение относится к области нанотехнологий и может быть использовано для изготовления сенсорных датчиков, приборов контроля составов газовых смесей, оптических приборов, в оптоэлектронике, наноэлектронике. Технический результат заключается в получении однородных упорядоченных структур диоксида олова. Сущность изобретения: в способе получения тонких пленок, содержащих наноструктурированный ди...