Полякова Н.Г.

 Способ оригинала топологического рисунка большой интегральной схемы, включающий нанесение на прозрачную подложку маскирующей пленки и получение рельефа в маскирующей пленке, содержащего элементы топологического рисунка и реперные знаки, методом фотолитографии с использованием генератора изображения, отличающийся тем, что, с целью повышения точности взаимного расположения элементов тополог...

 Способ измерения размеров элементов литографических слоев, включающий формирование увеличенного изображения литографического слоя, измерение параметров увеличенного изображения и преобразование этих параметров в размер элементов, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, перед формированием увеличенного изображения в литографическом слое выполняют голографическую решетк...

 Изобретение относится к изоляционным звукопоглощающим материалам и может быть использовано для снижения шума, создаваемого транспортными и стационарными двигателями, а также инженерными конструкциями. Слоистый материал содержит основу представляющую собой синтетический войлок, который соединен посредством липковязких полимерных слоев, а с одной сторны - с фольгой, а с другой стороны - с п...