Ловцюс Андрей Альгердович (RU)

Изобретение может быть использовано в производстве поликристаллического кремния Сименс-процессом. Газовую смесь на основе хлорсиланов или их смесей подают в, по крайней мере, два связанных единым технологическим циклом реактора, соединенные между собой последовательно системой патрубков. На вход первого реактора подают газовую смесь, предназначенную для работы всех реакторов, осуществляют непреры...