Лашков Артём Юрьевич (RU)

Изобретение может быть использовано для получения высокочистого силана, используемого для получения кремния в виде монокристаллов и пленок, покрытий из изотопно-обогащенного диоксида кремния. Тетрафторид кремния восстанавливают гидридом кальция при 180-200°С с последующей очисткой от фторсодержащих примесей пропусканием полученного силана через реактор с гидридом кальция и примесей углеводородов....

Изобретение может быть использовано в электронной промышленности и волоконной оптике. Предварительно нагревают гексафторсиликат натрия до 420-480°С и не менее 7 часов при указанной температуре откачивают все выделяющиеся газы. Затем проводят терморазложение гексафторсиликата натрия при температуре более 550°С с одновременной конденсацией тетрафторида кремния. Несконденсированную газовую фазу удал...

Изобретение относится к неорганической химии и может быть использовано для получения силана, применяемого для производства кремния в виде поли- и монокристаллов, и пленок аморфного гидрогенизированного кремния, легированного фтором. Силан получают по реакции восстановления тетрафторида кремния гидридом кальция в присутствии водорода, при этом в проточном горизонтально расположенном реакторе с за...