Котова Оксана Вячеславовна (RU)

Изобретение относится к способам и устройствам для получения тонких пленок координационных соединений. Способ включает перевод исходных соединений в газовую фазу в пространственно изолированных зонах, их раздельную транспортировку в зону проведения газофазной реакции посредством газа-носителя и осаждение тонкой пленки. При этом одно из исходных соединении подают в зону реакции, предварительно зап...