Логинов Павел Борисович (RU)

Использование: в производстве наноэлектронных и наномеханических приборов методом адсорбции-десорбции отдельных атомов на поверхности подложки. Сущность изобретения: в способе производства наноэлектронных и наномеханических приборов путем адсорбции отдельных атомов на поверхность подложки и путем десорбции отдельных атомов с поверхности подложки формирование прибора осуществляют зондом, размещаем...