Маринушкин Павел Сергеевич (RU)

Изобретение относится к области микросистемной техники, в частности к микромеханическим акселерометрам. Акселерометр содержит крестообразный подвес, центральная часть которого закреплена относительно якорной области, и опорную рамку, соединенную с крестообразным подвесом и закрепленную относительно инерционной массы. Вспомогательные подвижные электроды закреплены по углам опорной рамки, подложка...

Изобретение относится к области микросистемной техники, в частности к приборам для измерения величины угловой скорости. Гироскоп содержит подложку и инерционную массу, расположенные с зазором относительно друг друга, два гребенчатых электрода электростатических приводов, а также три пары электродов, образующих туннельные контакты, используемые в качестве преобразователей перемещений, при этом оди...

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к приборам для измерения величины угловой скорости. Гироскоп по первому варианту и второму варианту содержит цилиндрический тонкостенный резонатор из пьезоэлектрического материала, на внутренней поверхности которого сформирован сплошной электрод, а на внешней поверхности сформированы две пары расположенных диаметрально противоположно сегм...

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к приборам для измерения величины угловой скорости. Гироскоп содержит опорную рамку и, по крайней мере, одну инерционную массу. Инерционная масса закреплена с помощью упругих элементов на двух противоположных плечах опорной рамки, в которых вблизи мест крепления упругих элементов выполнены сквозные отверстия вытянутой формы и нанесены изм...

Изобретение относится к области микросистемной техники, в частности к приборам для измерения величины линейного ускорения. Интегральный датчик ускорения содержит выполненные из полупроводникового материала за одно целое опорную рамку и закрепленную на одном из ее плеч с помощью упругих консольных элементов с тензорезистивными преобразователями деформации инерционную массу, при этом датчик дополнит...