Мирошниченко Владимир Иванович (RU)

Изобретение относится к способам нанесения металлических покрытий на внутреннюю поверхность длинномерных труб вакуумным распылением металлов в магнитном поле. Способ включает коаксиальное размещение в вакуумной камере электродов, инициирование вакуумного электрического разряда между электродами путем создания разности потенциалов, воздействие плазмы разряда на наружную поверхность мишени при нало...

Изобретение относится к устройствам для нанесения металлических покрытий на внутреннюю поверхность длинномерных труб вакуумным распылением металлов в магнитном поле. Устройство содержит коаксиально размещенные в вакуумной камере электроды с проходными изоляторами, соединенные с источником постоянного тока, и источник магнитного поля, скрещиваемого с электрическим полем. Одним из электродов являет...