Косулина Ирина Григорьевна (RU)

Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых приборов, их гибридной сборке и преимущественно предназначено для сборки фотоприемных модулей. Сущность изобретения: в способе формирования контактного столба многоконтактного гибридного соединения на подложке литографически изготавливают заготовки контактных столбов из индия, затем помещают в вакуум, в котором формируют поток атом...