Салтымаков Максим Сергеевич (RU)

Изобретение относится к области технологии изготовления наноструктур и может быть использовано при получении новых материалов для микро- и оптоэлектроники, светодиодных ламп, силовой электроники и других областей полупроводниковой техники. Поверхность кремниевой мишени облучают импульсами ускоренных ионов углерода с длительностью импульса ионного пучка в диапазоне 10-8-10-6 с, плотностью тока в и...