Митченко Иван Сергеевич (RU)
Изобретатель Митченко Иван Сергеевич (RU) является автором следующих патентов:
Cvd-реактор и способ синтеза гетероэпитаксиальных пленок карбида кремния на кремнии
Изобретение относится к технологии производства гетероэпитаксиальных структур карбида кремния на кремнии, которые могут быть использованы в качестве подложек при изготовлении элементов полупроводниковой электроники, способных работать в условиях повышенных уровней радиации и высоких температур. Реактор для синтеза гетероэпитаксальных пленок карбида кремния на кремниевой подложке путем химического...
2394117