ФУКУЙО Томойюки (JP)

Изобретение относится к области получения газообразного фтора, который может быть использован в процессах производства полупроводников или жидких кристаллов. Способ получения газообразного фтора включает стадию генерирования газообразного фтора путем разделения на секции внутреннего пространства оборудованного нагревающими средствами (9) контейнера (10) для генерирования газообразного фтора, запо...