МАТСУДА Сатоси (JP)

Изобретение относится к пленкообразующему устройству, согласующему блоку упомянутого устройства и способу управления импедансом и может найти применение при изготовлении изделий с пленочным покрытием, полученным плазмохимическим осаждением из газовой фазы. Изобретение обеспечивает управление импедансом, чтобы избежать гашения плазмы, вызванного резким изменением импеданса нагрузки, что может прои...