Сергеев Вячеслав Евгеньевич (RU)

Изобретение относится к области гибридной микроэлектроники и может быть использовано для создания микроплат с многоуровневой тонкопленочной коммутацией. Технический результат - расширение технологических возможностей и увеличение коммутационной способности микроплат с многоуровневой коммутацией. Достигается тем, что в способе изготовления микроплат с многоуровневой тонкопленочной коммутацией, вкл...