Силибин Максим Викторович (RU)

Изобретение относится к пьезоэлектронике и может быть использовано в миниатюрных преобразователях механической энергии в электрическую и электрической энергии с механическую, датчиках перемещений, звукоизлучающих устройствах, исполнительных и регистрирующих элементах микроэлектромеханических систем. Сущность: прибор содержит подложку, пьезоэлектрический элемент, содержащий две или более пьезоэлек...

Изобретение относится к области нанотехнологии и наноэлектроники, а именно к получению тонких пленок карбида вольфрама. Сущность изобретения: способ формирования тонких пленок карбида вольфрама включает нанесение тонкой вольфрамосодержащей пленки на полупроводниковую подложку и карботермический синтез, причем тонкую пленку вольфрама наносят импульсно-плазменным осаждением, а карботермический синт...