ВАНГ Юн (US)
Изобретатель ВАНГ Юн (US) является автором следующих патентов:
Абразивный порошковый материал и абразивная суспензия для избирательного полирования полупроводниковой подложки и способ полирования
Изобретение относится к абразивному порошковому материалу, представляющему собой частицы оксида алюминия, содержащему переходный оксид алюминия и не менее 5.0 вес.%, но не более 40 вес.% аморфной фазы, причем частицы оксида алюминия имеют плотность менее 3,20 г/см3; к абразивной суспензии, содержащей воду в качестве растворителя и указанный абразивный порошковый материал в количестве от 3,0 вес.%...
2401856