КАСАТКИН Юрий (RU)

Изобретение относится к установке и способу непрерывного производства моносилана и тетрахлорсилана посредством каталитической дисмутации трихлорсилана при рабочей температуре и давлении от 1 до 50 бар. Трихлорсилан предварительно нагревается в теплообменнике и подается в противоточный каталитический реактор. Смесь продуктов, образованная в противоточном реакторе, по крайней мере, частично конденс...