Добровольский Герман Игоревич (RU)
Изобретатель Добровольский Герман Игоревич (RU) является автором следующих патентов:
![Установка для выращивания монокристаллов, например, сапфиров Установка для выращивания монокристаллов, например, сапфиров](https://img.patentdb.ru/i/200x200/de6d876138b63ebe27e51a088beef5f2.jpg)
Установка для выращивания монокристаллов, например, сапфиров
Изобретение относится к устройствам для выращивания объемных монокристаллов из расплавов, например, сапфира методом Чохральского, Киропулоса, и может быть использовано в электронной и полупроводниковой промышленности. Установка содержит цилиндрическую камеру 1 с крышкой 2 и поддоном 3, установленный в камере блок тепловых экранов, тигель для расплава с размещенным над ним затравкодержателем, связ...
2404297![Способ выращивания монокристалла кремния из расплава Способ выращивания монокристалла кремния из расплава](/img/empty.gif)
Способ выращивания монокристалла кремния из расплава
Изобретение относится к технологии получения полупроводниковых материалов для электронной техники, в частности кремния, методом Чохральского. Способ включает подачу рабочего газа в камеру с последующей эвакуацией сформированного газового потока с парогазовой смесью, образованной над расплавом, расположенным в тигле, при этом рабочий газ подают в камеру снизу под тигель, а парогазовую смесь эвакуи...
2472875