Чурбанов Михаил Фёдорович (RU)
Изобретатель Чурбанов Михаил Фёдорович (RU) является автором следующих патентов:
Способ получения высокочистого тетрафторида кремния
Изобретение может быть использовано в электронной промышленности и волоконной оптике. Предварительно нагревают гексафторсиликат натрия до 420-480°С и не менее 7 часов при указанной температуре откачивают все выделяющиеся газы. Затем проводят терморазложение гексафторсиликата натрия при температуре более 550°С с одновременной конденсацией тетрафторида кремния. Несконденсированную газовую фазу удал...
2406694