Звонова Марина Михайловна (RU)

Изобретение относится к области гальванопластики и может быть использовано в микроэлектронике при изготовлении магнитных и немагнитных масок для напыления тонких слоев органики, металлов и диэлектриков органических светоизлучающих диодов. Способ включает изготовление на электроизолирующем основании с токопроводящим слоем фотолитографическим методом матрицы с отверстиями с расчетным предыскажением...

Изобретение относится к области производства электронных компонентов и может быть использовано, в частности, в микроэлектронике для совмещения ферромагнитных свободных масок при формировании прецизионного топологического рисунка тонких пленок органики, металлов и диэлектриков, напыляемых на пластины в вакууме. Устройство включает маску из ферромагнитного материала 8, располагаемую с лицевой сторо...