Петров Станислав Иванович (RU)
Изобретатель Петров Станислав Иванович (RU) является автором следующих патентов:
Подвеска-токоподвод для стержневых подложек
Изобретение относится к получению полупроводниковых материалов, преимущественно поликристаллического кремния, путем осаждения из газовой фазы на подогреваемые подложки и может быть использовано в реакторах с резистивным подогревом стержневых подложек и с верхним токоподводом. Подвеска-токоподвод для стержневых подложек включает обойму 1 с гнездом 2 в виде сужающегося книзу канала с вертикальной с...
2409709