КАНГ Гёнг Хун (KR)

Изобретение может быть использовано в производстве поли- и монокристаллического кремния высокой чистоты. Моносилан подвергают ректификации для удаления углеводородов, кипящих выше моносилана. Затем очищают моносилан от этилена на активном оксиде алюминия или на модифицированном платиной, палладием, рутением, титаном или цирконием оксиде алюминия, после чего моносилан подвергают ректификации для у...