ШМИДТ Уве (DE)

Изобретение относится к способу обработки поверхности подложки. Техническим результатом изобретения является обеспечение эффективности очистки поверхности. Способ обработки включает осаждение, по меньшей мере, одной тонкой пленки А на часть поверхности упомянутой подложки, причем стадию осаждения осуществляют способом вакуумного напыления. Затем генерируют с помощью, по меньшей мере, одного линей...