Нестеров Владимир Александрович (RU)

Изобретение предназначено для измерения малых перемещений поверхностей объектов контроля и основано на применении оптических интерференционных методов. Устройство содержит оптически связанные и последовательно размещенные источник когерентного оптического излучения, оптическую систему, светоделитель, отражатель, экран и фотоприемное устройство. Отражатель закреплен на поверхности объекта контроля...