Григорьев Алексей Вячеславович (RU)

Изобретение относится к инерциальным приборам и может быть использовано в системах управления подвижных объектов различного назначения. Микроакселерометр содержит корпус, крышку, две инерционные массы на упругих подвесах, выполненные в виде прямоугольных пластин из монокристаллического кремния и расположенные в одной плоскости последовательно друг за другом вдоль оси чувствительности с возможност...